HIGHTLIGHTS

用于FMM产品的缺陷检测

兼容产品

小于1300*400FMM产品

上料形式

手工上下料

照明

开口缺陷：高亮背光     partical：多角度穹顶光

扫描系统

相机：16K@5u  TDI线阵相机

镜头：5x

复检系统

相机：2448 * 2045@3.5u面阵

镜头:自动对焦显微系统，7.5x

检测性能

检测项：particle、划伤、开口伤等

2 pixels defect with 30GL difference

漏检率： ≤10%@3u ；≤5%@5u

过检率：≤10%

最小缺陷尺寸： ≥1.5u

检测区域

FMM有效区

其余功能

1、支持产品信息导入及读取

4、支持与客户系统的各种定制化对接、上传等功能

迭代计划

（2023Q3)

1、multifield技术导入，实现开口缺陷及表面缺陷同时检测

2、实现线阵自动对焦，降低误判率，取消复检