HIGHTLIGHTS

用于光刻后晶圆图形缺陷检测及部分尺寸量测

兼容产品

8/12in wafer

上料形式

load port2可选，根据客户需求，支持SMIF、FOUP、open cassette

照明

明场/暗场  高亮白光LED（滤光片系统可选）

主镜

1x

物镜

2x

5x

10x

20x(review)

分辨率

2.75u

1.1u

0.55u

0.27u

效率

100WPH

40WPH

12WPH

2WPH

@ 8in wafer

检测性能

检测项：晶圆裂、异物、变色、划痕、OCR、尺寸量测、短路、图形缺失、bump变形等（根据客户需求不同，检测算法可选择性部署）

2 pixels defect with 30GL difference

漏检率：≤0.5%

过检率：≤2%

最小缺陷尺寸：≥1.5u

检测区域

晶圆正面有效区，2D图形检测

执行标准

整机：SEMI S2/7/8/9/10/11/13  E15/54/58 F47

软件：SEMI E30/84

其余功能

1、支持CAD导入，产品信息选择性导入、按图层导入

2、支持检测同时获取彩色review图片功能，无需人工重复对位review采图

3、光源亮度、影像畸变、OM光心、分辨率等自动标定矫正

4、支持与客户系统的各种定制化对接、上传等功能

（预计出货时间：2023Q1）